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芯片制造领域的EDA,半导体CIM/MES登顶工业软件难度之巅

芯榜 2022-09-24

The following article is from 芯榜+ Author 编辑部


文章 | Tora(芯榜北京),William(芯榜深圳)
编辑 | 芯榜深圳团队


近日美国国会众议院通过了涉及2800亿美元的《芯片和科学法案》,并已由美国总统拜登签署成为法律,该法案将向半导体产业提供约527亿美元的资金补贴,以鼓励企业在美国研发和制造芯片,并为企业提供25%的投资税抵免(约242亿美元),该法案的实施预计可撬动十倍以上的半导体制造产业投资,影响深远。


叠加当前复杂地缘政治形势及新冠疫情的持续,中国大陆半导体制造业发展也要有自己的一套应对措施,包括是不是倡议全面布局中国版本的Chip 4联盟体系。在这样全球变革的“时间窗口”,半导体CIM行业有望迎来发展机遇。


01 半导体CIM/MES集大成者


CIM是生产控制类工业软件的“大集成”,更有助于理解的是、很多时候我们推行“行胜于语言”或者“知是行之始,行是知之成”,“做到”比“知道”更重要,这就是说半导体及集成电路产业,为什么晶圆/芯片制造的环节是资本密集、技术密集的核心产业链环节,而此前大部分关注的EDA/IP等则集中在芯片设计领域,距离智能制造大规模流片量产的环节,还有一定的“产业链”距离。做到、做出产品,其中隐蔽工程或者隐含的know-how是众多工业系统及软件的鲜为人知的难点。


随着晶圆代工技术更新迭代,8英寸和12英寸晶圆已成为晶圆代工厂的主流配置。其中,8英寸主要用于成熟制程及特种制程,在下游NOR Flash、指纹识别芯片、电源芯片等产品需求的驱动下,8英寸晶圆代工产能目前处于供不应求的状态,已有部分客户开始将产品从8英寸转向12英寸生产。12英寸的晶圆直径为300mm,其面积是8英寸晶圆的2.25倍,晶圆尺寸的扩大使每片晶圆可切割的芯片数量上升。随着晶圆尺寸的升级以及良率的上升,单位面积芯片的成本将显著降低,晶圆厂追逐12英寸大尺寸产线的建设升级是大势所趋。


在系统集成和自动化程度方面,8英寸以半自动厂为主,12英寸基本都是全自动,而在一座12英寸晶圆厂中,每一片晶圆要在几百甚至千台设备间、工艺往复的流转,生产工序超过千道,任何一个环节出差错都会直接影响良率和效率。而要确保上千道环节中的“人、机、料、法、环”协同顺畅并非易事,先进制造工厂对于一套高效可靠的半导体CIM/MES工业制造软件的依赖将越来越大。一定程度上,CIM/MES工业软件系统的优劣将影响半导体工厂的良率控制、成本效益和生产效率,决定半导体制造企业的订单能力和议价能力,最终决定市场竞争力。


据芯榜团队实际调研和行业实践的了解,世界上绝大多数的半导体制造企业都采用IBM和美国应用材料(Applied Materials)的MES/CIM软件,由于欧美是工业软件起源地,也是工业软件最大的市场,而且半导体工业软件需要时间积累,在项目的实施过程中不断完善,国外占据了时间和市场的先发优势。在半导体国产化替代、大数据信息安全的浪潮下,国内半导体系统和工业软件仍有角力空间及破局机会。


CIM集合数十种工业软件于一身,行业进入门槛较高。CIM(Computer Integrated Manufacturing,计算机集成制造)最早是Joseph Harrington博士在1974年发表的论文《Computer Integrated Manufacturing》提出的,CIM是组织、管理、运营、协作智能制造企业的生产工具系统,通过创建自动化制造流程,替代人力并全面提升制造效率。CIM系统由数十种软件组成,如核心的制造执行系统MES、设备自动化EAP、先进制程控制APC、实时调度系统RTD、自动排产系统APS等等。在上周芯榜北京团队拜访清华相关教授的时候,交流观点显示,半导体CIM/MES系统大集成进入门槛高,需要多方协作配合也需要在生产控制、企业管理、多级协作等拥有大量行业细分领域的know-how和系统集成与软件开发能力,CIM是智能制造和工程的沉淀和知识的“结晶”。



02 上扬软件从“崭露头角”到“破局之路”


芯榜持续关注的中国半导体MES/CIM软件行业企业——上扬软件,自 2001年自主研发的中国大陆用于晶圆厂流程的第一套MES系统至今,上扬软件以其攻坚克难、诚信、善良、勤劳的核心价值观,二十年如一日的对行业热爱和坚守,先后完成国内从4/5/6英寸到多家8英寸厂的MES/CIM软件系统建设及验收交付,在12英寸晶圆厂MES/CIM软件系统上也实现重大突破,完成用于12英寸半导体量产线MES系统myCIM 4.0开发。


工业软件是中国制造业由“大”到“强”的工业4.0转型升级不可或缺的重要环节,上扬软件将长期受益于“卡脖子”技术突破、国产化替代、国家半导体智能制造核心数据安全的三大β红利驱动优势加持,未来有望保持中高速稳健增长,成长确定性强,属于战略性稀缺标的。

▲上扬软件近期主要订单和客户情况  
资料来源:上扬软件官网,芯榜,2022年8月。


上扬软件从1999年正式成立至今已逾二十年,公司是国内最早专门为半导体、太阳能光伏、LED、面板等高科技制造业市场龙头提供整体解决方案的软件公司,创下8英寸到目前12英寸晶圆厂MES/CIM系统多个“首次最佳实践”,首个国产半导体工业软件出口美国,首个使用国产MES的8寸量产线:产能达10万片/月,首个Micro LED量产线MES项目等。上扬软件将长期受益于“卡脖子”技术突破、国产替代和国家半导体智能制造核心数据安全三大β红利,未来有望保持中高速增长,成长确定性强,且是战略性稀缺标的。



CIM相当于半导体制造环节的“EDA”、重要性和“EDA”相当。在半导体及集成电路领域,主要的台积电等国际头部IDM或Foundry企业,基本采用美国应用材料(Applied Materials)和IBM两家国际大厂的CIM/MES系统,工业软件的产业发展历史也离不开自研和并购的道路。早在1995年IBM发布的POSEIDEM系统,到1999年基于此系统迭代开发SiView系统,到1998年美国应用材料收购Cosilium,2006年收购Brooks Automation旗下的Brook Software部门,目前海外厂商也持有者很多工业、智能制造和工程领域的秘密配方(Secret Recipe),这也是隐蔽的Know-how,因此工业软件在行业摸爬滚打的实际经验、可靠性、效率等都是“实践出真知”的具体体现。


03 国产MES/CIM软件的未来


工业软件难以速成,处于金字塔顶端的半导体MES/CIM系统解决方案更是如此。开发难,达到成熟、好用、高效、可靠更难,回顾国际MES/CIM软件系统巨头IBM和应用材料(Applied Materials)的成长之路,实际上就是一部伴随着半导体产业发展的并购史,利用先发优势通过资本运作不断增加自身实力,并结合晶圆厂的超大规模投资特点,与晶圆厂形成极强粘性,最终垄断市场。


国内的MES/CIM软件企业发展时间短,更需要国家政策扶持、资本助力以及客户支撑,在半导体制造、大数据和信息安全的这个核心子领域实现国产化替代全面突围。


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